技術(shù)編號(hào)：7099478
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及簡(jiǎn)便地制造晶體取向被擇優(yōu)控制為(100)面的鐵電薄膜的方法。背景技術(shù)近年來(lái)，出于對(duì)電子設(shè)備尺寸進(jìn)ー步縮小化的要求，將鐵電薄膜用作電容器、壓電元件的開(kāi)發(fā)盛行。鋯鈦酸鉛(PZT)為具有鈣鈦礦結(jié)構(gòu)并表現(xiàn)出優(yōu)異的介電特性的鐵電。為了得到將該P(yáng)ZT作為電介質(zhì)薄膜材料的薄膜電容器，由于成膜エ藝廉價(jià)并可在基板面內(nèi)得到均勻的膜組成，因此使用溶膠凝膠液的CSD (chemical solution deposition,化學(xué)溶液沉積)法受到注目?！ねㄟ^(guò)使用溶膠凝膠...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。