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      薄膜晶體管電子器件及其制造技術(shù)技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:7114646

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      本發(fā)明涉及包含多晶半導(dǎo)體材料的電子器件及制造該材料和這類器件的方法。多晶硅(多硅或多-Si)相對于非晶體硅(a-Si)的高載流子遷移率使它成為一種用于大面積電子器件的有吸引力的材料,這類器件如有源矩陣液晶顯示器(AMLCD),有源矩陣聚合物LED顯示器(AMPLED),太陽電池和像探測器。在US-A-5130829中描述了一種平板有源矩陣顯示器的例子,其內(nèi)容被引用于此作參考。對于本說明的目的,術(shù)語“非晶體”所涉及的是其組成原子是隨機定位的材料。術(shù)語“多晶”...
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