技術(shù)編號(hào):7117731
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明有關(guān)于半導(dǎo)體襯底處理,尤其是關(guān)于一種用于檢測(cè)襯底在轉(zhuǎn)送室內(nèi)的位置/存在的傳感器,襯底處理室可耦合至該轉(zhuǎn)送室。背景技術(shù) 圖1為用來(lái)實(shí)施半導(dǎo)體制程于襯底上,比如硅晶片或玻璃基板上,的傳統(tǒng)襯底處理機(jī)具11的一示意平面圖。正如熟悉此領(lǐng)域的技術(shù)人員所熟知的,硅晶片可被用來(lái)制造半導(dǎo)體組件,如微處理器,內(nèi)存組件,等等。玻璃基板可被處理用以制造使用在計(jì)算機(jī)監(jiān)視器、電視機(jī)或類似的平板顯示器。處理機(jī)具11包括一位于中央的轉(zhuǎn)送室13,其中處理室15被耦合至該轉(zhuǎn)送室。在每一...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。