技術(shù)編號(hào)：7124826
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及空氣電離設(shè)備，且更特定地說涉及一包括沿所述結(jié)構(gòu)的長(zhǎng)度布置以用于向一靜態(tài)充電的物體傳遞空氣離子的復(fù)數(shù)個(gè)噴嘴和離子發(fā)射極的細(xì)長(zhǎng)結(jié)構(gòu)。背景技術(shù) 用于傳遞空氣離子的某些已知裝置包括細(xì)長(zhǎng)結(jié)構(gòu)，其包括沿所述結(jié)構(gòu)間隔以在一離子發(fā)射電極周圍的壓力下促進(jìn)空氣或其他氣體的釋放的多個(gè)出口，從而以一流通空氣流將所產(chǎn)生的離子從所述出口載出。所述結(jié)構(gòu)一般稱為離子發(fā)生器或電暈放電棒，且常規(guī)地安裝于其中在制作過程期間如半導(dǎo)體晶圓的物體所放置的區(qū)域上的頂部上。所述電暈放電棒一般包...
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