技術(shù)編號：7125444
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種新的正性輻射敏感性樹脂組合物，特別涉及一種包含輻射敏感性酚醛清漆樹脂的正性輻射敏感性樹脂組合物，這種組合物適用于生產(chǎn)半導(dǎo)體集成電路，產(chǎn)生在LCD儀表板中液晶顯示裝置的顯示表面，適用于生產(chǎn)用于熱位差等的電路襯底等的用途。背景技術(shù)在生產(chǎn)半導(dǎo)體集成電路如LSI、制備在LCD儀表板中液晶顯示裝置的顯示表面、生產(chǎn)用于熱位差等的電路襯底等用途的廣泛領(lǐng)域中，照相平印術(shù)一直被用來形成微型元件或進(jìn)行精細(xì)加工。在照相平印術(shù)中，采用正性或負(fù)型輻射敏感性樹脂組合物形...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。