技術(shù)編號(hào)：7127860
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種夾持裝置，特別是涉及一種盤狀物夾持裝置。背景技術(shù)目前夾持晶片等盤狀物的裝置一般采用銷夾盤和伯努利吸盤?，F(xiàn)有利用伯努利原理將盤狀物固定的卡盤。利用伯努利原理在卡盤和盤狀物之間形成一層氣墊，利用氣墊式夾持元件來夾持盤狀物，通過分布在盤狀物圓周的氣墊式夾持元件來實(shí)現(xiàn)徑向定位。這種結(jié)構(gòu)很好的減少了盤狀物與卡盤的接觸，從而減少了對(duì)盤狀物的損壞，但是其結(jié)構(gòu)復(fù)雜，不易加工，且由于氣體從軸中間通過，很容易將管路中產(chǎn)生的顆粒帶到盤狀物表面而污染盤 狀物。實(shí)...
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