技術編號：7127900
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及用于半導體工業(yè)的陶瓷加熱器。背景技術 半導體產(chǎn)品是通過在半導體晶片上形成光敏樹脂作為防蝕涂層，蝕刻半導體晶片等步驟產(chǎn)生的。該光敏樹脂是液體，它通過旋涂機等施加到半導體晶片表面上。為了蒸發(fā)溶劑等，樹脂必須在涂布后進行干燥。因此，將經(jīng)過涂布的半導體晶片放入加熱器中加熱。迄今為止，用于此目的的是金屬制成的加熱器，其中在鋁板背面上排列了電阻加熱元件。然而，金屬制成的這種加熱器具有以下問題。首先，加熱板厚度必須厚達15厘米，因為加熱器是用金屬制成的。這是因...
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