技術編號：7138704
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體制作領域，特別涉及一種。背景技術現(xiàn)有的集成電路制造中，隨著半導體集成電路技術的不斷進步和特征尺寸的不斷減小，使得單片晶圓上的器件的數(shù)量不斷增加，電路的功能得到了改進，電路日趨復雜，工藝制造中的環(huán)節(jié)要求越來越精細，器件的可靠性也顯得日益重要。金屬-氧化物-半導體(MOS)晶體管是半導體制造中的最基本器件，其廣泛適用于各種集成電路中，根據(jù)主要載流子以及制造時的摻雜類型不同，分為NMOS和PMOS晶體管。而現(xiàn)有的集成電路設計和集成電路制造總是相輔...
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