技術(shù)編號(hào)：7143541
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及激光調(diào)阻，尤其涉及一種使用過程中不易變形、穩(wěn)定、可靠的激光調(diào)阻機(jī)。背景技術(shù)激光調(diào)阻工藝已經(jīng)成熟應(yīng)用在厚膜、薄膜及半導(dǎo)體電路中，現(xiàn)今由于人們對器件的微型化要求越來越高甚至到苛刻的地步，電路的微型化要求也越來越高，在一些精密的厚、薄膜電路以及一些半導(dǎo)體電路中，對精密激光調(diào)阻機(jī)有著相當(dāng)高的要求，而且這些電路的工藝只有激光調(diào)阻才能解決。除了基本的測量精度外，對產(chǎn)品的運(yùn)動(dòng)精度及定位精度要求也非常的高。由于激光調(diào)阻加工時(shí)激光器分步動(dòng)作控制系統(tǒng)需要重復(fù)運(yùn)動(dòng)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。