技術(shù)編號：7144346
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種透明導(dǎo)電氧化物薄膜玻璃的制備新方法，特別是一種以無機鹽前驅(qū)物代替?zhèn)鹘y(tǒng)金屬有機鹽、利用低壓化學(xué)氣相沉積技術(shù)(LPCVD)制備透明導(dǎo)電氧化物薄膜玻璃的方法。背景技術(shù)透明導(dǎo)電氧化物薄膜具有良好的光電、壓電和氣敏性質(zhì)，其電化學(xué)穩(wěn)定性高，在透明導(dǎo)體、光波導(dǎo)器件、高頻壓電轉(zhuǎn)換器、微傳感器等方面具有廣泛的用途。透明導(dǎo)電氧化物薄膜玻璃更是太陽能電池的重要組成部分，特別是應(yīng)用于硅基薄膜太陽能電池方面，具有獨特的優(yōu)勢。尤其是aio透明導(dǎo)電薄膜玻璃，由于其無毒、來...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。