技術(shù)編號：7146482
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于晶體硅太陽能電池制造領(lǐng)域，具體為一種晶體硅太陽能電池的擴(kuò)散工藝。背景技術(shù)太陽能電池制造工藝中，擴(kuò)散是核心工藝，是用來形成PN結(jié)的。磷擴(kuò)散一般有三種方法，一是三氯氧磷(POCI3)液態(tài)源擴(kuò)散，二是噴涂磷酸水溶液后鏈?zhǔn)綌U(kuò)散，三是絲網(wǎng)印刷磷漿料后鏈?zhǔn)綌U(kuò)散，本發(fā)明采用的是第一種方法。POCl3是目前磷擴(kuò)散用得較多的一種雜質(zhì)源，在高溫下分解生成五氯化磷(PCl5) 和五氧化二磷(P2O5)，其反應(yīng)式如下5P0C15 = 3PC13+P2052P205+5S...
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