技術編號:7159125
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種制備多晶硅太陽電池高效發(fā)射極的擴散方法,屬于太陽能電池。背景技術太陽能電池是一種將光能直接轉(zhuǎn)化為電能的器件,由于其清潔、無污染,取之不盡,用之不竭的優(yōu)點,越來越受關注,成為取代傳統(tǒng)能源的最佳新能源。POCl3液態(tài)源擴散法生產(chǎn)效率高,得到的PN結(jié)結(jié)構(gòu)均勻、平整,擴散層表面良好,同時有利于制作大面積結(jié)太陽能電池,是最主要的制結(jié)方法。所制PN結(jié)的質(zhì)量會直接影響到太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。POCl3液態(tài)源擴散法原理是=POCl3被N2帶入高溫石英管內(nèi)...
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