技術(shù)編號(hào)：7159813
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及，屬于半導(dǎo)體。技術(shù)背景CMOS器件尺寸按照摩爾定律的發(fā)展持續(xù)縮小，使得以晶體管數(shù)目和性能要求為標(biāo)志的IC設(shè)計(jì)復(fù)雜度提高到了空前的水平，集成電路行業(yè)已進(jìn)入到極大規(guī)模的納米技術(shù)時(shí)代。對(duì)于硅芯片而言，日益顯著的納米物理效應(yīng)限制了尺寸縮小的步伐，如引起的串?dāng)_、電壓降、電源噪聲、電遷移、偏差、應(yīng)力、泄露等問題。為了解決特征尺寸縮小帶來的物理限制問題，必須在材料和工藝上找到突破。就材料而言，一方面，尋找替代硅的材料，解決線寬縮小帶來的問題；另一方面，立足于硅...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。