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      三極管開(kāi)口的制備方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):7159820

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      本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,特別是涉及一種。背景技術(shù)在制備三極管的眾多工藝流程中,需要首先將三極管形成區(qū)域定義出來(lái),在此過(guò)程中由于存在各種不同的圖形,導(dǎo)致芯片表面存在較大的高低差異,因此,在傳統(tǒng)工藝中, 需要在定義三極管區(qū)域的時(shí)候,使用等向性刻蝕的方法,將高低差區(qū)域的側(cè)墻刻掉。但是在制備過(guò)程中,由于等向性刻蝕的不可控性及其各向同性的特性,會(huì)導(dǎo)致刻出來(lái)的開(kāi)口不可控,進(jìn)一步會(huì)導(dǎo)致側(cè)壁很粗糙,進(jìn)而導(dǎo)致關(guān)鍵尺寸的不可控,容易發(fā)生關(guān)鍵尺寸不穩(wěn)定,同時(shí)后續(xù)的多晶的制成過(guò)...
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