技術編號:7160622
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及將用于固著芯片狀工件(半導體芯片等)與電極構件的膠粘劑在切割前附著在工件(半導體晶片等)上的狀態(tài)下供給工件切割的切割/芯片接合薄膜。背景技術形成有電路圖案的半導體晶片(工件),在根據(jù)需要通過背面研磨調節(jié)厚度后,切割為半導體芯片(芯片狀工件)(切割工序)。在切割工序中,為了除去切割層,一般在適度的液壓(通常約^^/_2)下清洗半導體晶片。然后,將所述半導體芯片利用膠粘劑固著到引線框等被粘物上(安裝工序)后,轉移至接合工序。在所述安裝工序中,將膠粘劑...
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