技術(shù)編號：7161409
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及抑制暗電流產(chǎn)生的固態(tài)成像裝置及其制造方法以及成像設(shè)備。 背景技術(shù)由CXD(電荷耦合器件)和CMOS圖像傳感器形成的固態(tài)成像裝置已經(jīng)廣泛用于攝像機(jī)和數(shù)字靜態(tài)照相機(jī)等。噪聲減少以及靈敏度改善是這些固態(tài)成像裝置共同的重要問題。具體地講，在沒有光的狀態(tài)，沒有由入射光的光電轉(zhuǎn)換產(chǎn)生的信號電荷，光接收表面的基板界面存在的細(xì)微缺陷產(chǎn)生的電荷(電子)被當(dāng)成信號成為微電流并被檢測為暗電流，或者，以在光接收部分和上層膜之間的界面的界面態(tài)為發(fā)生源的暗電流，這些暗電流是...
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