技術(shù)編號：7162220
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種輔助刻蝕工藝的自動硅片裝片機(jī)。 背景技術(shù)目前太陽能電池制造過程中，包含有很多工序，其中包含硅片刻蝕?？涛g是半導(dǎo)體制造工藝、微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中的一種相當(dāng)重要的工藝步驟。在上述工序中硅片需要裝到PSS盤中，再放入機(jī)械手傳輸?shù)娇涛g區(qū)進(jìn)行工藝加工。在此工藝中，硅片裝盤是處于人工裝片狀態(tài)，硅片又薄又脆，所以該方式容易出現(xiàn)碎片率高，且PSS盤內(nèi)有18 個槽用于放片，要用人工方式又快又準(zhǔn)地放片是不可能達(dá)到的。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明要解決現(xiàn)往PSS...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。