技術(shù)編號：7165533
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明是屬于微電子半導(dǎo)體器件晶體管制造的，具體是一種在利用 trimming(硬掩膜修整)工藝及掩膜阻擋氧化相結(jié)合來實現(xiàn)超細納米線條的方法。背景技術(shù)隨著集成電路工業(yè)的發(fā)展，集成度要求越來越高，對場效應(yīng)晶體管的特征尺寸也就要求不斷的按比例縮小，同時追求著更好的性能和更低的生產(chǎn)成本。生產(chǎn)中，光刻技術(shù)就提出了越來越高的要求。電子束光刻在光刻技術(shù)中，以其對圖形的尺寸和精度控制，在制備納米細線條中是目前應(yīng)用比較廣泛的，但同時也存在著一些弊端，例如效率低，成本高，這都...
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