技術(shù)編號：7166008
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明設(shè)計半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的一種監(jiān)控方法，尤其是一種能使產(chǎn)品良率提高的半導(dǎo)體制程中的設(shè)備監(jiān)控方法。背景技術(shù)半導(dǎo)體集成電路的制造涉及數(shù)百個工藝步驟，這些步驟的任何一個脫離監(jiān)控即使其他步驟都做了很好的控制還是有可能導(dǎo)致最終的產(chǎn)品失效。因此，監(jiān)控每一個工藝步驟， 并有早期預(yù)警是半導(dǎo)體集成工藝的關(guān)鍵問題之一。傳統(tǒng)的半導(dǎo)體工廠采用離線監(jiān)控和在線監(jiān)控這兩種監(jiān)控形式在操作過程中的檢查設(shè)備的性能。但是，上述兩種監(jiān)控形式都有局限性和風(fēng)險期間，從而給生產(chǎn)帶來不確定性。離線監(jiān)控只...
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