技術(shù)編號：7180120
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造工藝，特別涉及一種鎢雙大馬士革工藝。 背景技術(shù)在半導(dǎo)體后道(Back-End-Of-Line，BE0L)以鎢作為金屬連線大馬士革工藝 (dual-damascene)中，傳統(tǒng)工藝如圖1 圖5所示，晶圓上包括依次從下到上的下層金屬 層1、金屬覆蓋層2、層間介質(zhì)層3、金屬布線槽阻擋層4、上層金屬層5，下層金屬層1中有 填充有金屬的金屬布線槽，是先由晶圓表面的上層金屬層5刻蝕通孔(via)至下層金屬覆 蓋層2，如圖1所示；之后再往通孔中填充具...
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