技術(shù)編號:7181136
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明總體涉及集成電路,更具體地,涉及用于減小晶片和芯片的翹曲度的方法 和結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)在本領(lǐng)域中所眾所周知的,大多數(shù)集成電路被制造在晶片(通常為半導(dǎo)體晶片, 更典型地為硅晶片)上。經(jīng)過過去幾十年,晶片的直徑已從僅兩英寸增至八英寸,而且近年 來,直徑增至十二英寸,也被稱為300mm晶片。盡管現(xiàn)在制造的一些器件被制造在八英寸晶 片上,但是大多數(shù)新的集成器件制造設(shè)備將被設(shè)計成制造在十二英寸晶片上。由于圓的面積與其直徑的平方相關(guān),所以直徑百分之五十的增長(如從八...
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