技術(shù)編號：7188736
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體圖案化薄膜的制備技術(shù)，特別是涉及圖案化納米Ci^S薄膜 的制備方法，屬于光電材料新型能源。背景技術(shù)隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，微米和納米尺度表面的微加工或圖案化已經(jīng)引起了人 們廣泛關(guān)注。許多現(xiàn)代技術(shù)發(fā)展的機(jī)會都來源于新型微觀結(jié)構(gòu)的成功構(gòu)造或現(xiàn)有結(jié)構(gòu)的小 型化。微電子行業(yè)的飛速發(fā)展是表面圖案化發(fā)展的直接推動力，不僅在微電子行業(yè)，表面圖 案化技術(shù)在其他領(lǐng)域的應(yīng)用也在迅速的增長。例如，化學(xué)和生物物質(zhì)微分析、生物芯片、微 體積反應(yīng)器、組合合成、微機(jī)...
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