技術(shù)編號(hào)：7196622
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種材料質(zhì)量的檢驗(yàn)方法，尤其涉及一種判別集成電路中所使用的硅單晶片質(zhì)量問題的。背景技術(shù) 集成電路制作中所使用的硅單晶片的質(zhì)量極為重要，這是集成電路合格率的基礎(chǔ)保證。硅單晶片的質(zhì)量可以分為兩種，即，一因原單晶片質(zhì)量問題引起漏電超規(guī)范(或者稱為一次缺陷)導(dǎo)致集成電路合格率下降，二因硅片制造(集成電路制造)的質(zhì)量問題引起漏電超規(guī)范(或者稱為二次缺陷)。因此如何區(qū)分是原單晶片的質(zhì)量還是硅片制造的質(zhì)量問題顯得格外重要，它可使單晶生產(chǎn)廠家和硅片制造廠家各負(fù)其...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。