技術(shù)編號(hào)：7207118
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種批處理式熱處理裝置以及批處理式熱處理裝置用的加熱器，更詳 細(xì)地說，涉及一種能夠同時(shí)對(duì)多個(gè)基板的基板整個(gè)面積進(jìn)行均勻熱處理，并且為了在結(jié)束 熱處理工序之后能夠迅速地冷卻熱處理裝置的腔室內(nèi)部而使冷卻用氣體流過的批處理式 熱處理裝置以及適用于該熱處理裝置的加熱器。背景技術(shù)在半導(dǎo)體、平板顯示器以及太陽能電池的制造中使用的退火裝置，是對(duì)蒸鍍?cè)谙?硅晶片、玻璃這樣的基板上的規(guī)定薄膜進(jìn)行結(jié)晶化、相變化等工序所不可缺少的進(jìn)行熱處 理步驟的裝置。作為代表性的退...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。