技術(shù)編號(hào)：7207556
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開涉及用于制造氧化鎵基襯底的方法、發(fā)光器件、以及用于制造發(fā)光器件的 方法。背景技術(shù)氮化物半導(dǎo)體由于其高熱穩(wěn)定性和寬帶隙能而在光學(xué)器件和高功率電子器件研 發(fā)領(lǐng)域中引起人們的注意。特別地，使用氮化物半導(dǎo)體的藍(lán)色、綠色以及UV發(fā)光器件已經(jīng) 被商業(yè)化并且被廣泛地使用。氮化物半導(dǎo)體發(fā)光器件包括氮化物半導(dǎo)體層，該氮化物半導(dǎo)體層被有機(jī)化學(xué)沉積 在作為相異的襯底的藍(lán)寶石襯底上方。藍(lán)寶石襯底具有電氣絕緣性。因此，為了將電壓施加給氮化物半導(dǎo)體層，需要部分 地蝕刻氮化物半導(dǎo)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。