技術(shù)編號:7212486
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種集成電路元件及其形成方法,且特別涉及一種半導(dǎo)體元 件、互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體元件及其形成方法。背景技術(shù)在集成電路元件的發(fā)展過程中,通過縮小元件的尺寸可達(dá)到高速操作和 低耗電量的目的。然而,由于目前縮小元件尺寸的技術(shù)遭受到工藝技術(shù)瓶頸、 成本昂貴等因素的限制,所以需發(fā)展其他不同于縮小元件的技術(shù),以改善元 件的驅(qū)動電 流o因此,有人提出在晶體管的通道區(qū)利用應(yīng)變(strain)控制的方式,來克服 元件縮小化的極限。目前一種利用應(yīng)變控制方式增加元件效能...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。