技術編號：7214088
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明有關于一種主動元件及其制造方法，且特別有關于一種薄膜晶體管及 其制造方法。背景技術在一般的半導體制程或液晶顯示器的金屬化制程中， 一般是選用鉬、鉭、鉻、 鉤等金屬或其合金做為金屬層的材料，其中又以鋁為最常用。鋁是地球上含量最豐 富的金屬，其價格便宜且具有多項特點，如電阻系數(shù)低、對基板的附著性(adhesion) 佳、且蝕亥鵬性(etching characteristics)好。然而，由于鋁的熱膨脹系數(shù)(coefficient of thermal ...
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