技術(shù)編號(hào)：7221699
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般來說涉及晶片鍵合，且更特定來說，涉及一種晶片封裝環(huán)境中的鍵合 方法及系統(tǒng)。背景技術(shù)MEMS技術(shù)已穩(wěn)定發(fā)展了一段時(shí)間，且結(jié)果已設(shè)想并驗(yàn)證了用于幾個(gè)應(yīng)用的各個(gè) MEMS裝置。MEMS技術(shù)是一種有吸引力的提供慣性傳感器(例如，用于測(cè)量直線加 速度的加速計(jì)及用于測(cè)量角速度的陀螺儀)的方法。MEMS慣性傳感器通常包括撓性 接附到所述裝置剩余部分的檢測(cè)質(zhì)量塊。依據(jù)詳細(xì)裝置設(shè)計(jì)，由致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)及/或由傳 感器以各種方式傳感所述檢測(cè)質(zhì)量塊與所述裝置的剩余部分之間的...
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