技術(shù)編號(hào):7225089
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及III族氮化物半導(dǎo)體發(fā)光器件及其制造方法,更具體而 言,本發(fā)明涉及通過在藍(lán)寶石襯底中形成溝槽、在所述藍(lán)寶石襯底上形 成多個(gè)氮化物半導(dǎo)體層、并穿過所述溝槽將電極連接至所述多個(gè)氮化物半導(dǎo)體層而制得的m族氮化物半導(dǎo)體發(fā)光器件及其制造方法。 背景技術(shù)圖i是描述傳統(tǒng)m族氮化物(化合物)半導(dǎo)體發(fā)光器件的一個(gè)實(shí)例 的截面圖。所述傳統(tǒng)半導(dǎo)體發(fā)光器件包括襯底ioo、在所述襯底ioo上外延生長(zhǎng)的緩沖層200、在所述緩沖層200上外延生長(zhǎng)的n型氮化物半導(dǎo)體 層300、...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。