技術(shù)編號：7226219
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。示范性實(shí)施方式可以涉及一種微熱通量傳感器陣列。更具體而言，示范性實(shí)施例可以涉及一種能夠在所有方向測量熱通量的微熱通量傳感器陣列。背景技術(shù) 由于半導(dǎo)體芯片的日益增加的性能水平，半導(dǎo)體芯片的工作功率繼續(xù)增加。在微處理器、存儲器和微電子裝置(半導(dǎo)體芯片)的情形，在半導(dǎo)體芯片的工作中產(chǎn)生的熱必須被有效地輻射以減小/防止半導(dǎo)體芯片的惡化。為了有效地輻射來自包含半導(dǎo)體芯片的半導(dǎo)體封裝的熱，應(yīng)當(dāng)測量半導(dǎo)體芯片的每個元件的溫度。由此，由于對于準(zhǔn)確地測量表示半導(dǎo)體芯片中的熱...
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