技術(shù)編號:7228298
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于電子,涉及半導(dǎo)體高壓器件,尤其涉及SOI高壓器件及SOI高壓器件的擊穿電壓的提升技術(shù)。 背景技術(shù)SOI集成電路具有高速、低功耗、高集成度、極小的寄生效應(yīng)以及良好的隔離等特點(diǎn), 并減弱了閉鎖效應(yīng)和具備強(qiáng)抗輻照能力,因此,近年來SOI集成電路得到了快速發(fā)展。SOI高壓器件作為SOI高壓集成電路的關(guān)鍵組成部分,其擊穿電壓對整個電路的性能有 著重要影響。常用的SOI高壓集成電路中,SOI高壓器件主要包括SOI高壓二極管、SOI高 壓LDMOS器件和SOI...
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