技術編號:7228913
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種專用于非晶硅薄膜太陽能電池生產的激光標刻設備,屬于 激光標刻、定位。技術背景目前,激光標刻技術巳廣泛的應用在非晶硅薄膜太陽能電池生產中,激光 標刻系統(tǒng)所釆用的加工技術大概分為以下類型 一類是固定激光輸出標刻頭, 把待加工的非晶硅太陽能電池片,簡稱基片放置在X-Y交聯(lián)絲桿系統(tǒng)載物工作 平臺上,通過X-Y交聯(lián)絲桿系統(tǒng)的移動,完成在基片上的圖形標刻。第二種類 型,是將激光輸出標刻頭固定在分開的X-Y絲桿系統(tǒng)的X絲桿上,載物工作平 臺固定在分開的X-...
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