技術編號：7229612
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及在利用所謂的輥式輸送機搬送基板的同時，將蝕刻液或剝離液等處理液供給至搬送中的基板上，處理該基板的上表面的基板處理裝置。背景技術 在現(xiàn)有技術中，作為上述基板處理裝置已知例如日本特開2003-92284號公報中所述的裝置。如圖10所示，該基板處理裝置100按平面視圖コ字形配置接受部110、防液部120、蝕刻部130、水洗部140、移載裝置150、旋轉干燥器160、移載裝置170和取出部180。利用搬送裝置190搬入接受部110中的基板K，之后，依次經(jīng)...
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