技術(shù)編號(hào):7232930
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在基板上形成有薄膜元件和其表面上具有薄膜圖形 的薄膜器件及其制造方法。背景技術(shù)在基板上設(shè)有薄膜晶體管或光傳感器等薄膜元件的薄膜器件中, 在上述薄膜元件的表面,防止帶電、或檢測(cè)靜電用的導(dǎo)電膜等薄膜圖 形形成在基底膜上,該基底膜用于保護(hù)上述薄膜元件、且用于支持形 成在上層的薄膜圖形。例如,在日本特開2003 — 91510號(hào)公報(bào)中所示的指紋認(rèn)正裝置 中,在構(gòu)成光傳感器的晶體管和表面靜電去除電極之間設(shè)有絕緣保護(hù) 膜。該絕緣保護(hù)膜保護(hù)上述晶體管,并成為支...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。