技術(shù)編號：7233269
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于在半導(dǎo)體晶片等被處理基板上實施熱處理的半導(dǎo) 體處理用的立式熱處理裝置和該裝置的使用方法。此處所謂的半導(dǎo)體處理指，通過在半導(dǎo)體晶片或LCD (Liquid Crystal Display液晶顯示 器)等FPD (Flat Panel Display平面顯示器)用的玻璃基板等被處理 基板上，以規(guī)定圖案形成半導(dǎo)體層、絕緣層、導(dǎo)電層等，為了在該被 處理基板上制造半導(dǎo)體設(shè)備和包括與半導(dǎo)體設(shè)備連接的配線、電極等 構(gòu)件而實施的各種處理。背景技術(shù)在構(gòu)成半導(dǎo)體...
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