技術(shù)編號：7237084
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及基板處理系統(tǒng)，特別涉及用在基板處理系統(tǒng)中以 方便傳送基板的監(jiān)視系統(tǒng)。背景技術(shù)平板顯示器可包括液晶顯示器、等離子顯示板、有機(jī)發(fā)光二 極管以及其它類似器件。這些平板顯示器可以利用包括處理室、 加載鎖定真空室和傳送室的真空處理設(shè)備來制造。處理室處理基板的表面，例如，通過在真空中使用等離子、 熱能或類似物而進(jìn)行蝕刻處理。加載鎖定真空室從外側(cè)接收未處 理基板，并將處理后的基板排放到外側(cè)，同時(shí)在大氣狀態(tài)和真空 狀態(tài)之間進(jìn)行交替。當(dāng)將基板引入處理室和由處理室排...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。