技術(shù)編號(hào)：7238961
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明總體涉及微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)和微機(jī)械設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)領(lǐng)域。更具體 地，本發(fā)明涉及一種實(shí)質(zhì)上改變了其宏觀機(jī)電性能的機(jī)械結(jié)構(gòu)的微機(jī)械設(shè) 計(jì)。更為具體地，本發(fā)明涉及微機(jī)械成形一介電膜以提供該介電膜獨(dú)特的機(jī) 械性能，其影響到了由該薄膜制造的換能器的宏觀機(jī)電性能。背景技術(shù)位于一彈性體的相對(duì)表面上的兩個(gè)電極之間的電位差產(chǎn)生引起吸引力 的電場(chǎng)。結(jié)果，電極間的距離產(chǎn)生變化，該變化導(dǎo)致彈性體材料的壓縮，由 此該彈性體材料變形。由于與肌肉的某種類似，彈性體驅(qū)動(dòng)器有時(shí)也稱作人造...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。