技術(shù)編號(hào):7241861
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種使用光致抗蝕劑的剝離液的剝離液循環(huán)系統(tǒng);在濕法蝕刻大面積的基板上的Cu膜或Cu合金膜從而進(jìn)行布線等時(shí),該光致抗蝕劑的剝離液能夠不損害Cu膜地進(jìn)行剝離并且不降低與Cu膜上所沉積的層之間的粘接力。該剝離液循環(huán)系統(tǒng)具有抗蝕劑剝離裝置,重復(fù)使用包含含有主劑、極性溶劑和水的混合液以及抗蝕劑成分的剝離液,剝離液中的抗蝕劑濃度達(dá)到規(guī)定的值時(shí),將剝離液的一部分從排出管排出,接受新的剝離液的供給;廢液罐;蒸餾再生裝置,蒸餾廢液罐中的剝離液;成分檢測(cè)裝置,檢測(cè)前...
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