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      監(jiān)測芯片內(nèi)部電位的聚焦離子束方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:7243921

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      本發(fā)明公開了一種,包括步驟1、對芯片做表面處理;步驟2、用聚焦離子束暴露出需要做橋聯(lián)的監(jiān)測節(jié)點A;步驟3、通過版圖檢查,找出距離所述監(jiān)測節(jié)點A最近的不相關(guān)焊盤B點位置并將所述監(jiān)測節(jié)點A和所述焊盤B進(jìn)行橋聯(lián);步驟4、實現(xiàn)所述監(jiān)測節(jié)點A和所述焊盤B之間橋聯(lián)以后,采用聚焦離子束切除焊盤B的負(fù)載,使所述焊盤B處于浮空狀態(tài);步驟5、進(jìn)行打線操作,把所述焊盤B引至封裝端并連接到測試儀,進(jìn)行動態(tài)信號或者多通道信號測量。本發(fā)明能在現(xiàn)有調(diào)查中推進(jìn)使用,可以小成本快速排除設(shè)計...
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