技術編號：7245153
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明是，在發(fā)光二極管樣品表面上旋涂光刻膠，利用納米尺度圖形在光刻膠上制備圓形體結構光刻膠陣列圖形，得到含有圓形體結構光刻膠陣列樣品；利用蒸發(fā)工藝，在含有圓形體結構光刻膠陣列的樣品上生長一層金屬膜并溶脫，得到含有金屬圓形體結構陣列的樣品；利用離子束刻蝕對含有圓形體結構光刻膠陣列樣品和含有金屬圓形體結構陣列的樣品進行刻蝕，得到含有球形體陣列結構的樣品；將含有球形體陣列結構的樣品置于去膠液或金屬腐蝕液中清洗，去除球形體陣列結構表面的光刻膠或金屬掩膜，得到納米尺...
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