技術編號：7249511
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。一種晶片檢查系統(tǒng)包含激光器液滴等離子體LDP光源，所述激光器液滴等離子體光源以充分的輻射率產生光以使得能夠以低至40納米的波長進行明亮場檢查。由所述LDP源產生的光被引導到所述晶片，且來自被照射的晶片的光被具有全反射元件的高NA物鏡收集。檢測器檢測所述所收集光以供進一步的圖像處理。所述LDP源包含液滴產生器，所述液滴產生器分配進料的液滴。由激光器產生的激發(fā)光聚焦在所述進料的液滴上。所述激發(fā)光與所述液滴的相互作用產生等離子體，所述等離子體在從40納米到200...
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