技術(shù)編號：7253771
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。提供了一種用于提供化學(xué)鍍層方法。通過提供含有烴、H2和無氧稀釋劑的沉積氣體流，從該沉積氣體形成等離子體，以及停止該沉積氣體的流動，在低k介電層上形成無定形碳阻擋層。通過提供含有H2和稀釋劑的調(diào)節(jié)氣體流，從該調(diào)節(jié)氣體形成等離子體，該等離子體調(diào)節(jié)無定形碳阻擋層的頂表面，并且停止該調(diào)節(jié)氣體的流動，調(diào)節(jié)無定形碳阻擋層。通過提供含有NH3或H2和N2的官能化氣體流，從該官能化氣體形成等離子體，并且停止該官能化氣體的流動，官能化經(jīng)調(diào)節(jié)的該無定形碳阻擋層。提供化學(xué)鍍處理...
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