技術(shù)編號(hào)：7255101
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種進(jìn)氣系統(tǒng)及基片處理設(shè)備，其包括與反應(yīng)腔室相連通的進(jìn)氣口、進(jìn)氣管路以及至少一個(gè)氣源，且不同氣源的氣體種類不同，進(jìn)氣管路包括干路、干路閥門、支路和支路閥門，其中，干路連接在進(jìn)氣口和各個(gè)氣源之間，用以將自氣源輸出的氣體經(jīng)由進(jìn)氣口輸送至所述反應(yīng)腔室中；干路閥門設(shè)置于干路上，用于接通或斷開所述干路；支路的一端串接于干路中并位于干路閥門的上游，用于在干路閥門關(guān)閉時(shí)排出干路中的氣體；支路閥門設(shè)置于支路上，用于接通或斷開支路。本發(fā)明提供的進(jìn)氣系統(tǒng)，其切換反應(yīng)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。