技術(shù)編號(hào):7259443
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供了一種包括隔離柵極結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體器件,其中,該器件具有第一有源晶體管、第二有源晶體管、隔離柵極結(jié)構(gòu)以及位于第一有源晶體管、第二有源晶體管和隔離柵極結(jié)構(gòu)下方的有源區(qū)。第一有源晶體管和第二有源晶體管都具有第一導(dǎo)電類型的金屬柵極(例如,n型和p型中的一種)。隔離柵極結(jié)構(gòu)夾置在第一有源晶體管和第二有源晶體管之間。隔離柵極結(jié)構(gòu)具有第二導(dǎo)電類型的金屬柵極(例如,n型和p型中的另一種)。本文還描述了制備這樣的器件的方法。專利說明 [0001]本發(fā)明總的來說...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。