技術(shù)編號：7261917
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提供一種能夠提高清洗性能的清洗液生成裝置、清洗液生成方法、基板清洗裝置以及基板清洗方法。實施方式的清洗液生成裝置（2）包括混合部（13），在酸性或者堿性的液體中混合雙氧水而生成混合液，通過上述雙氧水分解而產(chǎn)生的氧氣或者因反應(yīng)熱而產(chǎn)生的蒸氣，使該生成的混合液的壓力升高；以及氣泡產(chǎn)生部（14），使上述混合液（13）的被上述混合部升高了的壓力釋放，從而使上述混合液中產(chǎn)生多個微小氣泡。專利說明[0001]本發(fā)明的實施方式涉及清洗液生成裝置、清洗液生成方法、基...
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