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      用于降低入射光反射的單晶半導(dǎo)體襯底的織構(gòu)方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:7263372

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      。在堿性浴中織構(gòu)單晶半導(dǎo)體襯底,在其表面形成錐形結(jié)構(gòu)以降低入射光反射,提高晶片的光吸收。堿性浴包括化合物,其阻止錐形結(jié)構(gòu)間平面區(qū)域的形成以提高光吸收。提供一種方法,所述方法包括a)提供單晶半導(dǎo)體襯底;b)提供一種溶液,所述溶液包括一種或多種分子量不小于170g/mol并且閃燃點(diǎn)不低于75℃的烷氧基二醇,一種或多種堿性化合物和一種或多種除氧劑,所述除氧劑的量足以降低溶液中氧濃度到1000ppb或更低;和c)將單晶半導(dǎo)體襯底接觸所述溶液,各向異性地織構(gòu)單晶半導(dǎo)...
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