技術(shù)編號(hào)：7266351
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種，包括在襯底硅片上依次直接沉積多晶硅薄膜，然后依次直接涂布旋涂碳薄膜以及第一光刻膠；執(zhí)行曝光和顯影以便在第一光刻膠膜中形成第一柵極線條的結(jié)構(gòu)；在第一光刻膠上涂布含有異氰酸鹽類化合物的固化材料，交聯(lián)固化第一光刻膠中第一柵極線條的結(jié)構(gòu)，加熱使固化材料與第一光刻膠表面反應(yīng)形成不溶于第二光刻膠的隔離膜；在固化后的第一光刻膠上涂布第二光刻膠；在第二光刻膠膜中形成第一線端切割圖形；以第二光刻膠膜為掩模，刻蝕隔離膜和第一柵極線條，形成第二線端切割圖形；以剩余的隔離膜...
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