技術(shù)編號：7266780
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及精密、超精密加工領(lǐng)域，特別涉及一種微納米級仿生旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置?？捎糜诰芗庸C床、微機電系統(tǒng)和機器人等領(lǐng)域。背景技術(shù)隨著現(xiàn)代科學技術(shù)的發(fā)展，人類的研究領(lǐng)域擴展到微觀世界，微電子學、生命科學、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物化學、半導體、光學、數(shù)據(jù)存儲、超精密機械及其制造以及精密測量等學科的迅猛發(fā)展，人們對微納米級的精密定位技術(shù)和微納米級的精密驅(qū)動技術(shù)有著越來越多的需求。傳統(tǒng)的宏觀大尺寸驅(qū)動裝置已不能滿足其精度要求。因此，性能更優(yōu)越的新型高精度驅(qū)動裝置就顯得格外重...
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