專利名稱：射頻發(fā)生器的離線檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對(duì)射頻發(fā)生器進(jìn)行檢測(cè)的裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體薄膜淀積工藝中，常常需要使用射頻發(fā)生器。在物理氣相沉積(PVD)中，
采用射頻發(fā)生器，通過匹配電路，對(duì)陰極靶材施加高/中頻電壓，用以使所生長(zhǎng)的材料由固
體轉(zhuǎn)化為氣體，所生長(zhǎng)材料的蒸汽經(jīng)過一個(gè)低壓區(qū)域，在襯底表面上凝結(jié)，形成薄膜。而在
等離子體化學(xué)氣相沉積(CVD)中，射頻發(fā)生器提供高/中頻電壓，用以使電離的混合氣體加
速，創(chuàng)造等離子體氣體環(huán)境。申請(qǐng)?zhí)枮?2105328. 6、名稱為"降低對(duì)電纜長(zhǎng)度的敏感性的射
頻功率發(fā)生器的控制器"的中國(guó)專利申請(qǐng)中就公開了一種射頻功率發(fā)生器，該射頻功率發(fā)
生器與負(fù)載相連接，產(chǎn)生一個(gè)正向功率反饋信號(hào)以及一個(gè)反向功率反饋信號(hào)。 在半導(dǎo)體薄膜淀積工藝中，大多數(shù)射頻發(fā)生器只有在正常運(yùn)作時(shí)，可以通過微處
理器在線地對(duì)其狀態(tài)或參數(shù)進(jìn)行監(jiān)控，例如，檢測(cè)輸出功率是否正常等。然而，當(dāng)射頻發(fā)生
器處于離線狀態(tài)下，例如說，出現(xiàn)故障或者需要校準(zhǔn)時(shí)，很難對(duì)射頻發(fā)生器進(jìn)行監(jiān)測(cè)，更無
從校準(zhǔn)。盡管有的射頻發(fā)生器上具有可輸出信號(hào)的接口，但是由于接口類型和外型的限制，
測(cè)量極為不方便， 一種現(xiàn)有技術(shù)通過導(dǎo)線將可輸出信號(hào)引出進(jìn)行測(cè)量，但此種方式對(duì)于多
次測(cè)量而言，存在較多困難。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的問題是提供一種可對(duì)處于離線狀態(tài)下的射頻發(fā)生器方便地、多次 進(jìn)行及時(shí)檢測(cè)的裝置。 基于上述目的，本發(fā)明提供了一種射頻發(fā)生器的離線檢測(cè)裝置，包括接口件，用 于連接待測(cè)射頻發(fā)生器并提供信號(hào)的傳輸通道；控制單元，耦接于所述接口件，用于產(chǎn)生控 制待測(cè)射頻發(fā)生器的工作狀態(tài)及其輸出的信號(hào)的控制信號(hào)。 可選的，所述控制單元包括開關(guān)單元，用于控制所述待測(cè)射頻發(fā)生器高頻部分開 始工作或者停止工作；控制電壓?jiǎn)卧?，用于根?jù)所述工作電壓，獲得多等級(jí)的控制電壓；分 級(jí)控制單元，用于從所述控制電壓?jiǎn)卧@得的多等級(jí)的控制電壓中進(jìn)行選擇，根據(jù)選擇結(jié) 果產(chǎn)生控制信號(hào)的分級(jí)信號(hào)。 可選的，所述控制單元還包括校正單元，用于校正所述選擇結(jié)果對(duì)應(yīng)的分級(jí)信號(hào)。
可選的，所述校正開關(guān)包括測(cè)試單元，用于測(cè)試所述分級(jí)信號(hào)的實(shí)際值；調(diào)整單 元，耦接于所述分級(jí)控制單元，用于根據(jù)所述測(cè)試單元的結(jié)果，調(diào)節(jié)所述分級(jí)信號(hào)的實(shí)際 值，將其調(diào)節(jié)至預(yù)定值。 可選的，所述校正開關(guān)包括測(cè)試單元，用于測(cè)試所述分級(jí)信號(hào)的實(shí)際值；調(diào)整單 元，耦接于所述控制電壓?jiǎn)卧?，用于根?jù)所述選擇結(jié)果調(diào)整控制電壓，以將所述分級(jí)信號(hào)的 實(shí)際值調(diào)節(jié)至預(yù)定值。 可選的，所述分級(jí)控制單元包括分級(jí)旋鈕開關(guān)，用于選擇控制電壓的等級(jí)。
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可選的，所述控制單元還包括用于接收電源信號(hào)，提供所述離線檢測(cè)裝置各單元 工作的工作電壓。 可選的，所述電壓處理單元耦接于所述接口件，所述電源信號(hào)由所述待測(cè)射頻發(fā) 生器提供。 可選的，所述電壓處理單元，還包括電源信號(hào)單元，用于接收電源信號(hào)，提供所述 離線檢測(cè)裝置各單元工作的工作電壓；電路保護(hù)單元，耦接于所述電源信號(hào)單元，用于避免 所述離線檢測(cè)裝置由于過流現(xiàn)象而產(chǎn)生損壞。 可選的，所述離線檢測(cè)裝置還包括測(cè)量接口件，耦接于所述接口件，用于提供待 測(cè)射頻發(fā)生器輸出信號(hào)的測(cè)量通道。 可選的，所述輸出信號(hào)包括正向輸出信號(hào)和反饋輸出信號(hào)。 可選的，所述測(cè)量接口件包括正向測(cè)量接口，用于提供正向輸出信號(hào)的測(cè)量通 道；反饋測(cè)量接口，用于提供反饋輸出信號(hào)的測(cè)量通道。
可選的，所述接口件包括9針的D型超小型接口 。 可選的，所述離線檢測(cè)裝置還可包括顯示單元，用于與所述測(cè)量接口件相連接， 顯示所述測(cè)量接口件的輸出結(jié)果。 相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明提供可連接至射頻發(fā)生器的用戶端口的接口件，以及產(chǎn) 生控制信號(hào)的控制單元，所述控制信號(hào)可以通過接口件傳輸至射頻發(fā)生器，實(shí)現(xiàn)對(duì)射頻發(fā) 生器工作狀態(tài)以及所輸出的信號(hào)的控制。因此，在本發(fā)明的輔助下，可以在離線狀態(tài)下對(duì)射 頻發(fā)生器進(jìn)行檢測(cè)和校準(zhǔn)，不僅可以掌握射頻發(fā)生器是否正常工作，而且可以對(duì)其輸出進(jìn) 行校準(zhǔn)。 另外，本發(fā)明利用待測(cè)射頻發(fā)生器自身的用戶端口進(jìn)行工作，有效地利用了待測(cè) 射頻發(fā)生器的輔助電壓，并且也可方便地多次對(duì)射頻發(fā)生器進(jìn)行檢測(cè)，操作簡(jiǎn)便。


圖1是本發(fā)明射頻發(fā)生器的離線檢測(cè)裝置實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是本發(fā)明射頻發(fā)生器的離線檢測(cè)裝置具體實(shí)施方式
的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3是圖2中電壓處理單元的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖4是圖2中控制單元的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖5是圖4中校正單元的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖6是本發(fā)明射頻發(fā)生器的離線檢測(cè)裝置另一種實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖7是本發(fā)明射頻發(fā)生器的離線檢測(cè)裝置又一種實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖8是本發(fā)明射頻發(fā)生器的離線檢測(cè)裝置具體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明的實(shí)施方式提供了一種射頻發(fā)生器的離線檢測(cè)裝置，可提供檢測(cè)射頻發(fā)生 器所需的控制信號(hào)，以控制所述射頻發(fā)生器的穩(wěn)定輸出，可實(shí)現(xiàn)方便地對(duì)射頻發(fā)生器反復(fù) 進(jìn)行檢測(cè)，操作簡(jiǎn)便；并且，離線檢測(cè)裝置還可提供待測(cè)射頻發(fā)生器正向輸出信號(hào)和反饋輸 出信號(hào)的測(cè)量通道；此外，本發(fā)明射頻發(fā)生器的離線檢測(cè)裝置利用射頻發(fā)生器自身的輔助 電壓，不需要額外的外部電源，實(shí)施簡(jiǎn)單。
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作詳細(xì)地說明。
參考圖l，本發(fā)明實(shí)施方式提供一種射頻發(fā)生器的離線檢測(cè)裝置，包括接口件
Dl，用于連接待測(cè)射頻發(fā)生器并提供信號(hào)的傳輸通道；控制單元D2，耦接于所述接口件Dl，
用于產(chǎn)生控制待測(cè)射頻發(fā)生器的工作狀態(tài)及其輸出的信號(hào)的控制信號(hào)。 在本發(fā)明的另一種射頻發(fā)生器離線檢測(cè)裝置的實(shí)施方式中，參考圖2，可包括 接口件201，用于連接待測(cè)射頻發(fā)生器并傳輸信號(hào)。 具體地來說，所述接口件201可為與待測(cè)射頻發(fā)生器的用戶端口相匹配的接口，
用于與待測(cè)射頻發(fā)生器相連接，并傳輸與待測(cè)射頻發(fā)生器之間通信的信號(hào)。 電壓處理單元202，耦接于所述接口件201，用于接收電源信號(hào)，提供使離線檢測(cè)
裝置正常工作的穩(wěn)定電壓。 參考圖3，所述電壓處理單元202可包括電源信號(hào)單元300，耦接于所述接口件 201 ，用于接收電源信號(hào)，提供所述離線檢測(cè)裝置各單元工作的工作電壓。進(jìn)一步地，所述電 壓處理單元202還可包括電路保護(hù)單元301 ，耦接于電源信號(hào)單元300，用于避免所述離線 檢測(cè)裝置由于過流現(xiàn)象而產(chǎn)生損壞。具體地，所述電源信號(hào)可由待測(cè)射頻發(fā)生器提供，這樣 在檢測(cè)操作中，不必額外提供所述離線檢測(cè)裝置的外部電源，從而使檢測(cè)操作更加方便。所 述電路保護(hù)單元301可為分壓電阻。 控制單元203，用于產(chǎn)生檢測(cè)待測(cè)射頻發(fā)生器的控制信號(hào)。其中，所述控制信號(hào)可 包括用于控制所述待測(cè)射頻發(fā)生器開始工作的開啟信號(hào)或者控制所述待測(cè)射頻發(fā)生器停 止工作的關(guān)閉信號(hào)，以及用于控制所述待測(cè)射頻發(fā)生器輸出功率或電壓的分級(jí)信號(hào)。在檢 測(cè)過程中，控制單元203將所述控制信號(hào)通過接口件201發(fā)送至待測(cè)射頻發(fā)生器，控制待測(cè) 射頻發(fā)生器，以進(jìn)行檢測(cè)。 具體地來說，參考圖4，所述控制單元203可進(jìn)一步包括開關(guān)單元400 ，用于控制該 待測(cè)射頻發(fā)生器高頻部分開始工作或者停止工作。其中，所述開關(guān)單元400可包括開關(guān)按 鈕和開關(guān)電路，其中開關(guān)按鈕包括開啟和關(guān)閉兩種狀態(tài)。當(dāng)開關(guān)按鈕處于開啟狀態(tài)時(shí)，開關(guān) 電路通過接口件向所述待測(cè)射頻發(fā)生器發(fā)送開啟信號(hào)，使待測(cè)射頻發(fā)生器的高頻部分開始 工作，所述待測(cè)射頻發(fā)生器通過所述接口件向所述離線檢測(cè)裝置傳輸信號(hào)；當(dāng)開關(guān)按鈕處 于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)，開關(guān)電路通過接口件向所述待測(cè)射頻發(fā)生器發(fā)送關(guān)閉信號(hào)，使待測(cè)射頻發(fā) 生器的高頻部分停止工作，并停止通過所述接口件向所述待測(cè)射頻發(fā)生器傳輸信號(hào)。
所述控制單元203還可包括控制電壓?jiǎn)卧?01，用于根據(jù)來自電壓處理單元202 的工作電壓，獲得多等級(jí)的控制電壓Vc ;分級(jí)控制單元402，所述分級(jí)控制單元402用于從 多等級(jí)的控制電壓中進(jìn)行選擇，根據(jù)選擇結(jié)果產(chǎn)生作為控制信號(hào)的分級(jí)信號(hào)。在檢測(cè)過程 中，分級(jí)控制單元402將所述分級(jí)信號(hào)通過接口件201發(fā)送至所述待測(cè)射頻發(fā)射器。所述 分級(jí)信號(hào)為基于所選擇的不同等級(jí)控制電壓的不同等級(jí)控制信號(hào)，用于控制所述待測(cè)射頻 發(fā)生器的輸出功率或電壓。 檢測(cè)所述待測(cè)射頻發(fā)生器的輸出是否穩(wěn)定，通常，只需要檢測(cè)在一定范圍的功率 內(nèi)，待測(cè)射頻發(fā)生器是否可以保持穩(wěn)定輸出。 一般地，可采用線性測(cè)試的方法，即將待測(cè)射 頻發(fā)生器在一定范圍內(nèi)的輸出信號(hào)可近似地以若干個(gè)等級(jí)的線性輸出的組合來代替，通過 檢測(cè)待測(cè)射頻發(fā)生器的輸出信號(hào)是否可跟隨其控制信號(hào)的線性變化進(jìn)行線性穩(wěn)定輸出，進(jìn) 而檢測(cè)該待測(cè)射頻發(fā)生器是否可以穩(wěn)定輸出。因此，具體來說，控制電壓?jiǎn)卧?01所輸出的
5控制電壓被劃分為若干個(gè)等間距的等級(jí)，分級(jí)控制單元402選擇不同等級(jí)的控制電壓，根 據(jù)所述選擇結(jié)果，產(chǎn)生分級(jí)信號(hào)，并將所述分級(jí)信號(hào)發(fā)送至所述待測(cè)射頻發(fā)生器，使所述待 測(cè)射頻發(fā)生器輸出與所述分級(jí)信號(hào)相對(duì)應(yīng)的功率信號(hào)。在具體實(shí)施中，可包括產(chǎn)生控制電
壓，然后以控制電壓的10%為間隔，將控制電壓劃分為十個(gè)等級(jí)，分級(jí)控制單元402選擇不 同等級(jí)的控制電壓，基于所選擇的控制電壓，產(chǎn)生分級(jí)信號(hào)，并將所述分級(jí)信號(hào)發(fā)送至所述 待測(cè)射頻發(fā)生器，使待測(cè)射頻發(fā)生器輸出不同的功率。 其中，具體來說，控制電壓?jiǎn)卧?01可為電位器；分級(jí)控制單元402可包括分級(jí)旋 鈕開關(guān)，用于選擇指定等級(jí)的控制電壓，作為分級(jí)信號(hào)。 控制單元203還可包括校正單元403，用于校正所述選擇結(jié)果對(duì)應(yīng)的分級(jí)信號(hào)?？?制電壓?jiǎn)卧?01將所述控制電壓分為若干等級(jí)，分級(jí)控制單元402從所獲得的多等級(jí)控制 電壓中進(jìn)行選擇，并根據(jù)選擇結(jié)果產(chǎn)生指定等級(jí)的分級(jí)信號(hào)，但隨著使用時(shí)間的增加，每個(gè) 所述分級(jí)信號(hào)的實(shí)際輸出值可能會(huì)較其預(yù)定值有所偏離。所述校正單元403正是用于校正 分級(jí)信號(hào)可能存在的偏離值。參考圖5，所述校正單元403可包括測(cè)試單元501和調(diào)整單 元502。在具體實(shí)施例中，所述測(cè)試單元501，用于測(cè)試所述分級(jí)信號(hào)的實(shí)際值；所述調(diào)整單 元502，耦接于所述分級(jí)控制單元，用于根據(jù)所述測(cè)試單元501的結(jié)果，調(diào)節(jié)所述分級(jí)信號(hào) 的實(shí)際值，將其調(diào)節(jié)至預(yù)定值。在其它的實(shí)施例中，所述調(diào)整單元502可與所述控制電壓?jiǎn)?元401相連，并通過調(diào)節(jié)控制電壓的偏離值，使所述分級(jí)控制單元402選擇不同等級(jí)時(shí)，分 級(jí)信號(hào)的實(shí)際輸出值與其預(yù)定值相符。 舉個(gè)例子，分級(jí)信號(hào)為電壓信號(hào)，當(dāng)分級(jí)控制單元402處于等級(jí)4時(shí)，分級(jí)信號(hào)對(duì) 應(yīng)于4伏的電壓值，也就是說在正常工作情況下，所述離線檢測(cè)裝置應(yīng)該對(duì)應(yīng)地向所述待 測(cè)射頻檢測(cè)裝置輸出4伏電壓。接下來，測(cè)試單元501對(duì)所述離線檢測(cè)裝置向所述待測(cè)射 頻檢測(cè)裝置輸出的電壓值進(jìn)行檢測(cè)，若檢測(cè)結(jié)果為4伏，則表明分級(jí)控制單元中等級(jí)4所對(duì) 應(yīng)的分級(jí)信號(hào)工作正常；若檢測(cè)結(jié)果低于或者高于4伏，則可通過調(diào)節(jié)所述調(diào)整單元502進(jìn) 行調(diào)整。 在一種具體實(shí)施例中，控制電壓?jiǎn)卧?01包括轉(zhuǎn)柄式電位器，分級(jí)控制單元402包 括旋鈕式波段開關(guān)，調(diào)整單元502可包括轉(zhuǎn)柄式電位器的轉(zhuǎn)柄。將所接收的工作電壓經(jīng)過 轉(zhuǎn)柄式電位器進(jìn)行分壓，根據(jù)旋鈕式波段開關(guān)的等級(jí)，選擇對(duì)應(yīng)的控制電壓，并輸出對(duì)應(yīng)的 分級(jí)信號(hào)。當(dāng)所輸出的分級(jí)信號(hào)與預(yù)定值有偏差時(shí)，通過轉(zhuǎn)柄調(diào)節(jié)旋鈕式波段開關(guān)該等級(jí) 在電位器中所對(duì)應(yīng)的阻值，使得所對(duì)應(yīng)的分級(jí)信號(hào)為預(yù)定值。 所述調(diào)整單元502還可包括與所述轉(zhuǎn)柄式電位器相連的螺絲。當(dāng)所述旋鈕式波段 開關(guān)位于每個(gè)等級(jí)位置時(shí)，在所對(duì)應(yīng)的控制電壓都為預(yù)定值的情況下，采用螺絲對(duì)設(shè)定好 的轉(zhuǎn)柄式電位器進(jìn)行鎖定，從而保證了校正之后，當(dāng)所述旋鈕式波段開關(guān)位于每個(gè)等級(jí)位 置時(shí)，都對(duì)應(yīng)穩(wěn)定、準(zhǔn)確的控制電壓值。 參考圖6，本發(fā)明離線檢測(cè)裝置的其它實(shí)施方式中，還可包括測(cè)量接口件603，耦 接于所述接口件D1，用于提供所述待測(cè)射頻發(fā)生器輸出信號(hào)的測(cè)量通道。其中，所述輸出信 號(hào)包括正向輸出信號(hào)和反饋輸出信號(hào)。 待測(cè)射頻發(fā)生器的輸出信號(hào)通過接口件傳輸至所述離線檢測(cè)裝置，測(cè)量接口件 603提供了所述輸出信號(hào)的測(cè)量通道。根據(jù)測(cè)量得到的所述正向輸出信號(hào)以及反饋輸出信 號(hào)的大小，可通過所述反饋輸出信號(hào)值占所述正向輸出信號(hào)值的比例，判斷所述待測(cè)射頻
6發(fā)生器的輸出狀態(tài)。如果反饋輸出信號(hào)小于正向輸出信號(hào)的1 % ，則該待測(cè)射頻發(fā)生器輸出 正常，如果反饋輸出信號(hào)過大，例如大于正向輸出信號(hào)的功率的50%，也就是說該待測(cè)射頻 發(fā)生器的大部分正向輸出信號(hào)都被反饋回來，而沒有消耗在負(fù)載上，說明該待測(cè)射頻發(fā)生 器的輸出存在問題。 在具體的實(shí)施方式中，待測(cè)射頻發(fā)生器將輸出的功率信號(hào)轉(zhuǎn)化為對(duì)應(yīng)的電壓信 號(hào)，通過接口件D1輸出至所述離線檢測(cè)裝置。所述測(cè)量接口件603可包括正向測(cè)量接口，用 于提供正向輸出信號(hào)的測(cè)量通道，以及反饋測(cè)量接口，用于提供反饋輸出信號(hào)的測(cè)量通道。 一般地，所述正向輸出信號(hào)與所述反饋輸出信號(hào)都為兩路信號(hào)。其中，所述正向輸出信號(hào)兩 路信號(hào)中，一路為正向輸出信號(hào)，一路為參考信號(hào)，即為所述正向輸出信號(hào)提供一個(gè)公共參 考電位；所述反饋輸出信號(hào)的兩路信號(hào)中，一路為反饋輸出信號(hào)，一路為參考信號(hào)，即為所 述反饋輸出信號(hào)提供一個(gè)公共參考電位。 參考圖7，在本發(fā)明的其它實(shí)施方式中，所述離線檢測(cè)裝置除了包括接口件D1、控 制單元D2、測(cè)量接口件D3之外，還可包括顯示單元D4，用于與所述測(cè)量接口件D3相連接， 顯示所述測(cè)量接口件D3的輸出結(jié)果。具體地來說，所述顯示單元D4可包括顯示電路和顯 示屏。當(dāng)通過所述接口件，接收到來自待測(cè)射頻發(fā)生器的所述正向輸出信號(hào)和所述反饋輸 出信號(hào)之后，控制單元D2將正向輸出信號(hào)和反饋輸出信號(hào)通過所述顯示電路在所述顯示 屏上顯示出來，還可以實(shí)現(xiàn)對(duì)所述正向輸出信號(hào)以及反饋輸出信號(hào)大小的比較，并顯示比 較結(jié)果。 下面以射頻發(fā)生器PDX1400為例，進(jìn)一步介紹本發(fā)明離線檢測(cè)裝置具體實(shí)施例的 工作過程。PDX1400常用于PVD或CVD過程中，用以輸出范圍在235KHz到375KHz之間的頻率。 參考圖8，以射頻發(fā)生器PDX1400為例，采用本發(fā)明離線檢測(cè)裝置的具體實(shí)施例對(duì) 其進(jìn)行離線檢測(cè)。 首先，待測(cè)的射頻發(fā)生器PDX1400通電，并與負(fù)載730相連接。PDX1400機(jī)身上包括 一個(gè)用戶端口 720，提供輔助電源信號(hào)，以及PDX1400的正向輸出信號(hào)和反饋輸出信號(hào)，將 此用戶端口與本實(shí)施例離線檢測(cè)裝置的接口 701相連，接口 701可為與PDX1400的用戶接 口 720所匹配的9針的D型超小型接口 。本實(shí)施例離線檢測(cè)裝置通過接口 701從PDX1400 所接收到的電源信號(hào)為使所述離線檢測(cè)裝置工作的直流電壓。所述直流電壓經(jīng)過控制電壓 單元702，產(chǎn)生所述待測(cè)射頻發(fā)生器的控制電壓。 PDX1400的前面板上具有顯示屏721，通過顯示電路722與用戶端口 720相連接， 可顯示是否開始進(jìn)行射頻輸出以及輸出功率大小。打開離線檢測(cè)裝置上的開關(guān)703，開關(guān) 電路704通過接口 701向PDX1400發(fā)送開啟信號(hào)，使PDX1400的高頻部分723開始工作，并 通過接口 701向所述離線檢測(cè)裝置傳輸信號(hào)。如果PDX1400顯示屏721上無顯示，則說明 PDX1400的供電出現(xiàn)問題；如果PDX1400顯示屏721有顯示，則繼續(xù)檢測(cè)。
接下來，通過調(diào)節(jié)分級(jí)控制單元705選擇不同等級(jí)的控制電壓，作為分級(jí)信號(hào)，并 將所述分級(jí)信號(hào)通過接口 701傳輸至待測(cè)射頻發(fā)生器PDX1400，對(duì)其輸出功率進(jìn)行調(diào)節(jié)。通 過PDX1400面板上的顯示屏721觀察當(dāng)前輸出信號(hào)的功率值與所設(shè)定的分級(jí)對(duì)應(yīng)的輸出信 號(hào)的功率值，兩者一致表明輸出正常，反之則不能穩(wěn)定輸出。例如，當(dāng)分級(jí)控制單元705位 于2V的位置時(shí)，表示此時(shí)的控制電壓應(yīng)為2V，對(duì)應(yīng)PDX1400的輸出功率應(yīng)為280W，若面板顯示屏中顯示數(shù)據(jù)與此相同，則表明輸出正常。 控制電壓?jiǎn)卧?02將所述的控制電壓，分為十個(gè)等距分布的等級(jí)，比如具有1級(jí)至 10級(jí)這樣的十個(gè)等級(jí)，所述分級(jí)控制單元705選擇對(duì)應(yīng)的等級(jí)，分別對(duì)應(yīng)得到控制電壓為1 伏、2伏、3伏、4伏、5伏、6伏、7伏、8伏、9伏和10伏，所述分級(jí)控制單元705將所得到的控 制電壓作為分級(jí)信號(hào)，并通過接口件輸出至PDX1400。當(dāng)分級(jí)信號(hào)呈線性變化時(shí)，如果待測(cè) 射頻發(fā)生器的輸出功率也隨之線性變化，也就是說，所述待測(cè)射頻發(fā)生器的輸出功率隨分 級(jí)信號(hào)的線性增加呈線性增加，或者輸出功率隨分級(jí)信號(hào)的線性減小呈線性減小，也就表 明，待測(cè)射頻發(fā)生器的線性輸出正常，則繼續(xù)進(jìn)行檢測(cè)。如果待測(cè)射頻發(fā)生器的輸出功率不 隨控制電壓的線性變化而線性變化時(shí)，首先通過校正單元706確認(rèn)所述分級(jí)控制單元705 各等級(jí)分級(jí)信號(hào)所對(duì)應(yīng)的控制電壓是否與設(shè)定值一致，如果有偏離，將其調(diào)整為預(yù)定值，然 后重新測(cè)試。如果待測(cè)射頻發(fā)生器的輸出功率仍然不隨分級(jí)信號(hào)的線性變化而線性變化， 則說明該待測(cè)的射頻發(fā)生器將不能穩(wěn)定輸出。 接下來，在該待測(cè)射頻發(fā)生器的線性輸出正常的情況下，進(jìn)行一個(gè)半小時(shí)老化測(cè) 試之后，通過測(cè)試端口 707檢測(cè)該待測(cè)的射頻發(fā)生器正向輸出信號(hào)以及反饋輸出信號(hào)。由 于PDX1400自身具有顯示屏，因此可通過PDX1400自身的顯示屏721顯示PDX1400的輸出 信號(hào)，以監(jiān)測(cè)所述正向輸出信號(hào)的功率以及反饋輸出信號(hào)的功率是否正常；而當(dāng)待測(cè)射頻 發(fā)生器自身不具有顯示屏?xí)r，或者當(dāng)射頻發(fā)生器自身的顯示屏出現(xiàn)問題時(shí)，可采用萬用表 等外接檢測(cè)裝置708與測(cè)試端口 707相連接，測(cè)量PDX1400的輸出信號(hào)，或者通過測(cè)試端口 707外接顯示單元709，監(jiān)控PDX1400的輸出狀態(tài)。在PDX1400輸出正常的情況下，顯示結(jié) 果應(yīng)該與通過測(cè)試端口 707所得到的測(cè)量結(jié)果一致。 如果反饋輸出信號(hào)的功率接近于零，或者小于正向輸出信號(hào)的1%，則該待測(cè)射頻 發(fā)生器輸出正常，如果反饋輸出信號(hào)的功率很大，甚至大于或接近于正向輸出信號(hào)的功率 的50%，也就是說該待測(cè)射頻發(fā)生器的大部分正向輸出信號(hào)都被反饋回來，而沒有消耗在 負(fù)載730上，在負(fù)載730工作良好的情況下，說明該待測(cè)射頻發(fā)生器的輸出存在問題。
上述實(shí)施方式提供了一種射頻發(fā)生器的離線檢測(cè)裝置，提供產(chǎn)生控制信號(hào)的控制 單元以及連接射頻發(fā)生器、作為控制信號(hào)傳輸通道的接口件，實(shí)現(xiàn)對(duì)射頻發(fā)生器工作狀態(tài) 及其輸出的信號(hào)的控制。本發(fā)明實(shí)施方式可在離線狀態(tài)下，檢測(cè)射頻發(fā)生器是否正常工作， 并且還可以檢測(cè)其正向輸出信號(hào)和反饋輸出信號(hào)，操作方便。另外，本發(fā)明實(shí)施方式提供的 離線檢測(cè)裝置利用射頻發(fā)生器自身的用戶端口 ， 一方面可以獲得使離線檢測(cè)裝置工作的電 壓，不需要額外的外部電源，實(shí)施簡(jiǎn)單，另一方面本發(fā)明的實(shí)施方式便于連接和拆卸，可方 便地對(duì)所述待測(cè)射頻發(fā)生器的輸出信號(hào)進(jìn)行多次測(cè)量，從而對(duì)待測(cè)射頻發(fā)生器的輸出狀態(tài) 進(jìn)行檢測(cè)和控制。 雖然本發(fā)明已通過較佳實(shí)施例說明如上，但這些較佳實(shí)施例并非用以限定本發(fā) 明。本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，應(yīng)有能力對(duì)該較佳實(shí)施例做出各 種改正和補(bǔ)充，因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍以權(quán)利要求書的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
一種射頻發(fā)生器的離線檢測(cè)裝置，其特征在于，包括接口件，用于連接待測(cè)射頻發(fā)生器并提供信號(hào)的傳輸通道；控制單元，耦接于所述接口件，用于產(chǎn)生控制待測(cè)射頻發(fā)生器的工作狀態(tài)及其輸出的信號(hào)的控制信號(hào)。
2. 如權(quán)利要求1所述的離線檢測(cè)裝置，其特征在于，所述控制單元包括 開關(guān)單元，用于控制所述待測(cè)射頻發(fā)生器高頻部分開始工作或者停止工作； 控制電壓?jiǎn)卧?，用于根?jù)所述工作電壓，獲得多等級(jí)的控制電壓；分級(jí)控制單元，用于從所述控制電壓?jiǎn)卧@得的多等級(jí)的控制電壓中進(jìn)行選擇，根據(jù) 選擇結(jié)果產(chǎn)生控制信號(hào)的分級(jí)信號(hào)。
3. 如權(quán)利要求2所述的離線檢測(cè)裝置，其特征在于，所述控制單元還包括 校正單元，用于校正所述選擇結(jié)果對(duì)應(yīng)的分級(jí)信號(hào)。
4. 如權(quán)利要求3所述的離線檢測(cè)裝置，其特征在于，所述校正單元包括 測(cè)試單元，用于測(cè)試所述分級(jí)信號(hào)的實(shí)際值；調(diào)整單元，耦接于所述分級(jí)控制單元，用于根據(jù)所述選擇結(jié)果調(diào)節(jié)所述分級(jí)信號(hào)的實(shí) 際值，將其調(diào)節(jié)至預(yù)定值。
5. 如權(quán)利要求3所述的離線檢測(cè)裝置，其特征在于，所述校正單元包括 測(cè)試單元，用于測(cè)試所述分級(jí)信號(hào)的實(shí)際值；調(diào)整單元，耦接于所述控制電壓?jiǎn)卧?，用于根?jù)所述選擇結(jié)果調(diào)整控制電壓，以將所述 分級(jí)信號(hào)的實(shí)際值調(diào)節(jié)至預(yù)定值。
6. 如權(quán)利要求2所述的離線檢測(cè)裝置，其特征在于，所述分級(jí)控制單元包括分級(jí)旋鈕 開關(guān)，用于選擇控制電壓的等級(jí)。
7. 如權(quán)利要求1所述的離線檢測(cè)裝置，其特征在于，所述控制單元還包括 電壓處理單元，用于接收電源信號(hào)，提供所述離線檢測(cè)裝置各單元工作的工作電壓。
8. 如權(quán)利要求7所述的離線檢測(cè)裝置，其特征在于，所述電壓處理單元耦接于所述接 口件，所述電源信號(hào)由所述待測(cè)射頻發(fā)生器提供。
9. 如權(quán)利要求7所述的離線檢測(cè)裝置，其特征在于，所述電壓處理單元包括 電源信號(hào)單元，用于接收電源信號(hào)，提供所述離線檢測(cè)裝置各單元工作的工作電壓； 電路保護(hù)單元，耦接于所述電源信號(hào)單元，用于避免所述離線檢測(cè)裝置由于過流現(xiàn)象而產(chǎn)生損壞。
10. 如權(quán)利要求l所述的離線檢測(cè)裝置，其特征在于，還包括測(cè)量接口件，耦接于所述接口件，用于提供待測(cè)射頻發(fā)生器輸出信號(hào)的測(cè)量通道。
11. 如權(quán)利要求IO所述的離線檢測(cè)裝置，其特征在于，所述測(cè)量接口件包括 正向測(cè)量接口，用于提供正向輸出信號(hào)的測(cè)量通道；反饋測(cè)量接口 ，用于提供反饋輸出信號(hào)的測(cè)量通道。
12. 如權(quán)利要求1所述的離線檢測(cè)裝置，其特征在于，所述接口件包括9針的D型超小 型接口。
13. 如權(quán)利要求1所述的離線檢測(cè)裝置，其特征在于，所述離線檢測(cè)裝置還包括顯示 單元，用于與所述測(cè)量接口件相連接，顯示所述測(cè)量接口件的輸出結(jié)果。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種射頻發(fā)生器的離線檢測(cè)裝置，提供產(chǎn)生控制信號(hào)的控制單元以及連接射頻發(fā)生器、作為控制信號(hào)傳輸通道的接口件，實(shí)現(xiàn)對(duì)射頻發(fā)生器工作狀態(tài)及其輸出的信號(hào)的控制。本發(fā)明射頻發(fā)生器的離線檢測(cè)裝置利用射頻發(fā)生器自身的用戶端口將射頻發(fā)生器自身的輔助電壓作為自身的工作電壓，不需要額外的外部電源，實(shí)施簡(jiǎn)單。另外，本發(fā)明便于方便地對(duì)所述待測(cè)射頻發(fā)生器的輸出信號(hào)多次進(jìn)行操作，從而對(duì)待測(cè)射頻發(fā)生器的輸出狀態(tài)進(jìn)行檢測(cè)和控制。
文檔編號(hào)G05F1/66GK101736315SQ20081020353
公開日2010年6月16日 申請(qǐng)日期2008年11月27日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月27日
發(fā)明者黃國(guó)偉 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司