技術(shù)編號：7332671
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種電力驅(qū)動裝置，且特別涉及一種具有導(dǎo)流裝置的直線電機。背景技術(shù)在光刻機系統(tǒng)中，工件臺或掩模臺的長行程運動由直線電機來承擔。由于承擔粗動的直線電機出力往往較大，產(chǎn)生較大的熱功耗，許多直線電機都采用水冷媒冷卻的方式，電機產(chǎn)生的熱量絕大部分由水冷媒帶走，達到降低電機繞組表面溫升的目的。直線電機的行程較大，特別是動磁鐵型的直線電機，動磁鐵型直線電機因其不需要給可運動的動子供電，可以減小線纜帶來的擾動，在光刻機系統(tǒng)中可體現(xiàn)出其優(yōu)越性。 動磁鐵型的直線電機...
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